| 发明名称 |
BURNING FLAME-TYPE CVD DIAMOND DEPOSITION PROCESS AIDED BY MICROWAVE OR ALTERNATING CURRENT/DIRECT CURRENT DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05214533(A) |
申请公布日期 |
1993.08.24 |
| 申请号 |
JP19920282115 |
申请日期 |
1992.10.21 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO <GE> |
发明人 |
TOOMASU RICHIYAADO ANTONII;JIEEMUSU FURUTON FURETSUSHIYAA |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/513 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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