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发明名称
FLOW SENSOR FOR MEASURING HIGH FLUID FLOW RATES
摘要
申请公布号
US5237866(A)
申请公布日期
1993.08.24
申请号
US19910698317
申请日期
1991.05.10
申请人
BROOKS INSTRUMENT B.V.
发明人
NIJDAM, PAUL J. B.
分类号
G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688;G01F1/69;G01F1/696;G01F15/04
主分类号
G01F1/68
代理机构
代理人
主权项
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