发明名称 ELECTRIC FURNACE
摘要
申请公布号 JPH05215463(A) 申请公布日期 1993.08.24
申请号 JP19910326071 申请日期 1991.12.10
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAMURA KIYOMI
分类号 F27B5/14;H01L21/22;H01L21/31;H05B3/62 主分类号 F27B5/14
代理机构 代理人
主权项
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