| 发明名称 |
PHOTODELINEABLE COATINGS FROM HYDROGEN SILSESQUIOXANE RESIN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US5238787(A) |
申请公布日期 |
1993.08.24 |
| 申请号 |
US19910688418 |
申请日期 |
1991.04.22 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
HALUSKA, LOREN A.;MICHAEL, KEITH W. |
| 分类号 |
G03F7/028;C09D183/04;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/028 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
