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发明名称 FORMING METHOD OF THIN FILM AND FORMING EQUIPMENT OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05211134(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19920268808 申请日期 1992.10.07
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 AKAHORI TAKASHI
分类号 C23C16/14;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
主权项
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