发明名称 CHARGED PARTICLE RAY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05211053(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19920015926 申请日期 1992.01.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONISHI TAKESHI;ISHITANI TORU
分类号 H01J37/22;H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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