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经营范围
发明名称
CHARGED PARTICLE RAY DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05211053(A)
申请公布日期
1993.08.20
申请号
JP19920015926
申请日期
1992.01.31
申请人
HITACHI LTD
发明人
ONISHI TAKESHI;ISHITANI TORU
分类号
H01J37/22;H01J37/28
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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