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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05211137(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19920001172 申请日期 1992.01.08
申请人 NEC CORP 发明人 YAMADA HIROAKI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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