| 发明名称 |
SCAN TYPE TUNNEL MICROSCOPE, MAKING OF PROBE USED IN THE SAME AND USE OF SCAN TYPE TUNNEL MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05209714(A) |
申请公布日期 |
1993.08.20 |
| 申请号 |
JP19920042241 |
申请日期 |
1992.01.30 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
KATSUKI FUTOSHI;KAMEI KAZUTO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01Q60/10;G01Q60/16;H01J9/14;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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