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经营范围
发明名称
FORMING METHOD OF THIN METAL FILM
摘要
申请公布号
JPH05211148(A)
申请公布日期
1993.08.20
申请号
JP19910338645
申请日期
1991.12.20
申请人
NEC CORP
发明人
SUGAI KAZUMI
分类号
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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