| 发明名称 |
METAL FILM FORMING DEVICE AND METAL FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05209279(A) |
申请公布日期 |
1993.08.20 |
| 申请号 |
JP19920268520 |
申请日期 |
1992.10.07 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KATAOKA YUZO;HAYAKAWA YUKIHIRO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/04;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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