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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0563050(U)	申请公布日期	1993.08.20
申请号	JP19920003154U	申请日期	1992.01.31
申请人		发明人
分类号	B23Q1/00;B23Q1/01;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68;B23Q1/02	主分类号	B23Q1/00
代理机构		代理人
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