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发明名称 MANUFACTURE OF DIAMOND THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05209273(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19910087512 申请日期 1991.03.27
申请人 CALSONIC CORP 发明人 WAKASA YOICHI;MITA IKUKO
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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