发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05208886(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19920042175 申请日期 1992.01.30
申请人 KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD;OSAKA TITANIUM CO LTD 发明人 KATO KOJI
分类号 C30B13/10;H01L21/208 主分类号 C30B13/10
代理机构 代理人
主权项
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