发明名称 MANUFACTURE OF SPUTTERED ALLOY FILM AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH05209263(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19920003445 申请日期 1992.01.13
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIWATA NOBUYUKI
分类号 C23C14/34;C23C14/54;G11B7/085;H01F10/14;H01F41/18 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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