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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SPUTTERED ALLOY FILM AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH05209263(A)
申请公布日期
1993.08.20
申请号
JP19920003445
申请日期
1992.01.13
申请人
NEC CORP
发明人
ISHIWATA NOBUYUKI
分类号
C23C14/34;C23C14/54;G11B7/085;H01F10/14;H01F41/18
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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