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发明名称 APPARATUS FOR FEEDING GRANULAR SILICON MATERIAL
摘要
申请公布号 KR930007851(B1) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 KR19900010011 申请日期 1990.07.03
申请人 NKK CORP. 发明人 MORI, YOSHIO
分类号 C30B15/02;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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