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发明名称 BROAD BEAM FLUX DENSITY CONTROL
摘要
申请公布号 CA2089099(A1) 申请公布日期 1993.08.19
申请号 CA19932089099 申请日期 1993.02.09
申请人 EATON CORPORATION 发明人 MCINTYRE, EDWARD K., JR.;BENVENISTE, VICTOR M.;HRYNYK, WALTER
分类号 C23C14/48;C23C14/54;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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