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发明名称 VERFAHREN UM EINE HOCHREINE OXYDSCHICHT AUF EINEM HALBLEITERSUBSTRAT HERZUSTELLEN.
摘要
申请公布号 DE3687732(T2) 申请公布日期 1993.08.19
申请号 DE19863687732T 申请日期 1986.09.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BLUM, SAMUEL EMIL, WHITE PLAINS, NY 10603, US
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/383;C30B31/10 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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