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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON INTEGRIERTEN CMOS-ANORDNUNGEN MIT VERRINGERTEN GATE-LAENGEN.
摘要
申请公布号 DE3881004(T2) 申请公布日期 1993.08.19
申请号 DE19883881004T 申请日期 1988.12.15
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA, MAILAND/MILANO, IT 发明人 BERGONZONI, CARLO, I-20043 ARCORE MILANO, IT
分类号 H01L27/092;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82;H01L27/08 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
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