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发明名称 NON-ALLOYED OHMIC CONTACT TO III-V SEMICONDUCTORS-ON-SILICON
摘要
申请公布号 EP0426380(A3) 申请公布日期 1993.08.18
申请号 EP19900311723 申请日期 1990.10.25
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 CHIU, TIEN-HENG;CUNNINGHAM, JOHN E.;GOOSSEN, KEITH W.
分类号 H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/36;H01L29/43;H01L29/45;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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