发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR930007754(B1) 申请公布日期 1993.08.18
申请号 KR19900012364 申请日期 1990.08.11
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 OSHIMA, YOICHI;MORI, SEIICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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