发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05206272(A) 申请公布日期 1993.08.13
申请号 JP19920014684 申请日期 1992.01.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO HAJIME
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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