| 发明名称 |
HEAT RESISTANT PHOTOSENSITIVE MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05204154(A) |
申请公布日期 |
1993.08.13 |
| 申请号 |
JP19920013513 |
申请日期 |
1992.01.29 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
NISHIZAWA HIROSHI;SUZUKI KENJI;HAGIWARA HIDEO;KOJIMA YASUNORI |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/028;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/312 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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