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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05206045(A) 申请公布日期 1993.08.13
申请号 JP19920011729 申请日期 1992.01.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 MIYAGUCHI TAKASHI;KONDO KATSUNORI
分类号 H01L21/22;H01L21/225;H01L21/265 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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