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发明名称 RESIST PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05206024(A) 申请公布日期 1993.08.13
申请号 JP19910055871 申请日期 1991.02.27
申请人 SONY CORP 发明人 YABUTA MITSUO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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