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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05206163(A) 申请公布日期 1993.08.13
申请号 JP19910296878 申请日期 1991.11.13
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIMORI MASANORI
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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