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发明名称 FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH05206284(A) 申请公布日期 1993.08.13
申请号 JP19920010960 申请日期 1992.01.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 UENO KOJI;SATO YASUMASA
分类号 H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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