发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05206229(A) 申请公布日期 1993.08.13
申请号 JP19920011147 申请日期 1992.01.24
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 HORIE SHINJI
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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