| 发明名称 |
HEAT TREATMENT APPARATUS FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05206044(A) |
申请公布日期 |
1993.08.13 |
| 申请号 |
JP19920037202 |
申请日期 |
1992.01.27 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MURAOKA YUSUKE |
| 分类号 |
C23C16/48;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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