Process and device for evaporating materials in a vacuum vessel.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Materialverdampfung in einem Vakuumbehälter (1) durch Beschuß des zu verdampfenden Materials mit Elektronen aus einer VakuumBogen-Verdampfung, insbesondere zur Oberflächenbeschichtung von Substraten. Um eine stufenlose Regelung einerseits der Elektronenerzeugung und andererseits der Verdampfung und schließlich des Ionisierungsgrades zu ermöglichen, ist neben einer ersten Stromquelle (6) zur Erzeugung der Bogenspannung zwischen der selbstverzehrenden Kathode (4) und einer Anode (5) eine zweite, steuerbare Stromquelle (11) zwischen der Anode (5) der kathodischen Vakuum-Bogen-Verdampfung und einer zweiten selbstverzehrenden Anode (9) vorgesehen, so daß die durch die kathodische Vakuum-Bogen-Verdampfung erzeugten Elektronen unter Zufuhr eines Gases oder Gasgemisches in den Vakuumbehälter (1) gezielt der selbstverzehrenden Anoden (9) geführt werden. <IMAGE>