| 发明名称 |
ROTATING MAGNETRON INCORPORATING A REMOVABLE CATHODE. |
| 摘要 |
Magnétron rotatif comprenant une cathode (64) et un ensemble palier (10), la cathode (64) pouvant être enlevée d'une chambre de recouvrement (42) alors que l'ensemble palier (10) demeure en position. |
| 申请公布号 |
EP0554360(A1) |
申请公布日期 |
1993.08.11 |
| 申请号 |
EP19910920086 |
申请日期 |
1991.10.17 |
| 申请人 |
VIRATEC THIN FILMS, INC. |
发明人 |
STEVENSON, DAVID, E.;BJORNARD, ERIK, J.;HUMBERSTONE, GEOFFREY |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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