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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR EVALUATING PROFILE IRREGULARITY
摘要
申请公布号 JPH05203425(A) 申请公布日期 1993.08.10
申请号 JP19920012635 申请日期 1992.01.28
申请人 NIKON CORP 发明人 ICHIKAWA HAJIME;SUZUKI MASANORI;NAGASAWA SUEKI
分类号 G01B11/24;G01M11/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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