| 发明名称 |
ORGANOMETALLIC ADDUCT COMPOUNDS |
| 摘要 |
PCT No. PCT/EP90/00357 Sec. 371 Date Sep. 6, 1991 Sec. 102(e) Date Sep. 6, 1991 PCT Filed Mar. 3, 1990 PCT Pub. No. WO90/10727 PCT Pub. Date Sep. 20, 1990.The invention relates to the use of stabilised organometallic adduct compounds for the production of thin films and epitaxic layers by gas phase deposition.
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| 申请公布号 |
US5234716(A) |
申请公布日期 |
1993.08.10 |
| 申请号 |
US19910752698 |
申请日期 |
1991.09.06 |
| 申请人 |
MERCK PATENT GESELLSCHAFT MIT BESCHRAENKTER HAFTUNG |
发明人 |
HOSTALEK, MARTIN;LOKAI, MATTHIAS;POHL, LUDWIG |
| 分类号 |
C07F5/00;C07F5/06;C07F9/50;C07F9/70;C07F9/90;C23C16/30;C30B25/02;C30B29/40 |
主分类号 |
C07F5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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