| 发明名称 |
LEVELING MATERIAL AND LEVELING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05202228(A) |
申请公布日期 |
1993.08.10 |
| 申请号 |
JP19920204341 |
申请日期 |
1992.07.09 |
| 申请人 |
TOSOH CORP |
发明人 |
MATSUMURA KOUZABUROU;AKASHI MITSUMASA;TSUTSUMI YOSHITAKA;HASEGAWA MASAZUMI |
| 分类号 |
C08K5/00;C08L101/00;C09D7/12;C09D201/00;H01L21/312 |
主分类号 |
C08K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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