| 发明名称 |
GAS SUPPLY SYSTEM AND GAS SUPPLYING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05203099(A) |
申请公布日期 |
1993.08.10 |
| 申请号 |
JP19920038589 |
申请日期 |
1992.01.29 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;CKD CORP |
发明人 |
OKUMURA KATSUYA;SUDO YOSHIHISA;GOSHIMA KENICHI;BANDOU HIROSHI;KOJIMA AKIHIRO |
| 分类号 |
F17D1/04;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
F17D1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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