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发明名称 Permanent metallic bonding method
摘要
申请公布号 US5234153(A) 申请公布日期 1993.08.10
申请号 US19920938195 申请日期 1992.08.28
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 BACON, DONLAD D.;KATZ, AVISHAY;LEE, CHIEN-HSUN;TAI, KING L.;WONG, YIU-MAN
分类号 H01L21/52;B23K20/02;B23K20/233;B23K35/00;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/373;H01L33/40;H01L33/62;H01S5/00;H01S5/02;H01S5/022 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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