发明名称
摘要
申请公布号 JPH0553298(B2) 申请公布日期 1993.08.09
申请号 JP19880309182 申请日期 1988.12.07
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MORITA SHIGERU
分类号 H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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