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摘要
申请公布号
JPH0553313(B2)
申请公布日期
1993.08.09
申请号
JP19870242211
申请日期
1987.09.25
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
KONNO HIDETO;INATOMI CHIKAKO
分类号
C22C19/03;G01D5/245;H01L43/08;H01L43/10;(IPC1-7):H01L43/10
主分类号
C22C19/03
代理机构
代理人
主权项
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