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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THAT
摘要
申请公布号 JPH05198826(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920031618 申请日期 1992.01.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SATO KAZUHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/80 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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