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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05198566(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920007103 申请日期 1992.01.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SASAKA MASAAKI
分类号 C23C16/24;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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