发明名称 FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH05198942(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920007038 申请日期 1992.01.20
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 HIROSE EIICHIRO;INUI SHINICHIRO;KITAMURA KOJI
分类号 H05K3/40 主分类号 H05K3/40
代理机构 代理人
主权项
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