发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05198731(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920008191 申请日期 1992.01.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTA HIROYUKI;MIURA HIDEO;ZEN MUNETOSHI;OKAMOTO NORIAKI;USAMI MITSUO
分类号 H01L23/538 主分类号 H01L23/538
代理机构 代理人
主权项
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