发明名称 FORMATION OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH05198573(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19910050935 申请日期 1991.03.15
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YASUDA MAKOTO;FUKUDA HISASHI
分类号 H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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