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发明名称 BATCH TYPE GAS PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH05198517(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920029065 申请日期 1992.01.21
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KOIZUMI KOJI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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