| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWTH |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05198506(A) |
申请公布日期 |
1993.08.06 |
| 申请号 |
JP19920123299 |
申请日期 |
1992.05.15 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
KANBARA ATSUHIKO;SUGA HISAKO |
| 分类号 |
C23C16/48;C30B25/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/268 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
