DEVICE AND METHOD FOR REMOVING THIN FILM,申请号JP19920031281-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	DEVICE AND METHOD FOR REMOVING THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH05198496(A)	申请公布日期	1993.08.06
申请号	JP19920031281	申请日期	1992.01.23
申请人	NIKON CORP	发明人	MOGI KIYOSHI;KUDO YUJI
分类号	H01L21/302;H01L21/027	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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