| 发明名称 |
BUCKET TYPE ION SOURCE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05198268(A) |
申请公布日期 |
1993.08.06 |
| 申请号 |
JP19920027238 |
申请日期 |
1992.01.17 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MIYAKE KOJI;TAWARA HIDEAKI;MATSUBARA KATSUO;NOGAWA SHUICHI |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J37/08;H01J37/30 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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