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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05198665(A)
申请公布日期
1993.08.06
申请号
JP19920009808
申请日期
1992.01.23
申请人
HITACHI LTD
发明人
HIROKI MASANORI
分类号
H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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