发明名称 REMAINING HANG PIN INSPECTOR FOR SEMICONDUCTOR IC
摘要
申请公布号 JPH05198642(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920028902 申请日期 1992.01.20
申请人 NEC CORP 发明人 SHIBATA NOBORU
分类号 H01L21/66;H01L23/50 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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