| 发明名称 |
BI-CHANNEL RADIATION DETECTING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05196505(A) |
申请公布日期 |
1993.08.06 |
| 申请号 |
JP19910323080 |
申请日期 |
1991.12.06 |
| 申请人 |
A G PUROSESUINGU TECHNOL INC |
发明人 |
AANON GIYATSUTO;DEIBUITSUDO MARUDO |
| 分类号 |
G01J5/00;G01J5/60;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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