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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH05198484(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920008836 申请日期 1992.01.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIRAKAWA AKIRA;SHIBATA YUKINOBU
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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